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TMA(Trimethyl Aluminium): 산업 응용 분야의 필수 화합물
TMA(Trimethyl Aluminium): 산업 응용 분야의 필수 화합물 TMA로 약칭되는 트리메틸 알루미늄은 화학식 Al(CH3)3을 갖는 유기 금속 화합물입니다. 이것은 반응성이 높고 발화성인 무색 액체로, 공기나 습기가 있는 곳에서 자발적으로 발화할 수 있습니다. TMA는 주로 반도체 산업에서 박막 생산의 전구체로 사용됩니다. 이는 반도체 기판에 고품질 알루미늄 함유 필름을 증착하는 데 사용되는 금속-유기 화학 기상 증착(MOCVD) 공정의 핵심…